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基于經(jīng)典基片彎曲法Stoney公式測(cè)量原理，采用激光掃描方式和探測(cè)技術(shù)，以及智能化的操作，使得AUT-FST5000薄膜應(yīng)力測(cè)量?jī)x特別適合于晶圓類光電薄膜樣品的弓高、翹曲、輪廓形貌、曲率半徑和薄膜應(yīng)力測(cè)量和計(jì)算.

應(yīng)力雙折射測(cè)量LSM - 9000LE是一款用于定量測(cè)量透明體內(nèi)延遲量的應(yīng)變和雙折射以及慢軸的方向的二維裝置。$nSenarmon方法是一種測(cè)量方法，其中測(cè)量者旋轉(zhuǎn)分析儀并通過使測(cè)量位置的亮度亮到暗來(lái)定量測(cè)量延遲。但是，在現(xiàn)有的視覺方式中，根據(jù)測(cè)量環(huán)境和測(cè)量者的亮度判斷，存在偏差。此外，在半自動(dòng)中心，延遲測(cè)量的準(zhǔn)確性與視覺類型相比有所提高，但是測(cè)量位置僅限于圖像中的特定部分。